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Mikromechanische Sensor- und Aktorarrays / SFB 379

Micromechanical Sensor and Actuator Arrays

18.09.2003

Programmbeschreibung / Programme Summary

Die interdisziplinären Arbeiten der beteiligten Lehrstühle und Einrichtungen des Sonderforschungsbereichs 379 konzentrieren sich auf Entwicklung, Entwurf, Technologie und Bewertung von Komponenten der Mikrosystemtechnik (Mikroelektronik, Mikromechanik, Mikrooptik) einschließlich der Herstellung von Demonstratoren und Prototypen. Schwerpunktmäßig wird ein Teilbereich der Silizium-Mikromechanik behandelt, der es erlaubt, Feldanordnungen von Einzelkomponenten zu realisieren. Die Lösung dieser Aufgabenstellung umfasst die Untersuchung möglicher Werkstoffe für diese mikromechanischen Systeme, die Analyse der Einzelkomponenten hinsichtlich Wirkfunktion und Zuverlässigkeit, die Technologieentwicklung sowie Fragen zur Applikation dieser Systeme einschließlich der Signalverarbeitung. Demonstratoren des Sonderforschungsbereichs 379 sind mikromechanische Scansysteme (Aktorarrays) und Ultraschallwandlerarrays in Mikrotechnik. Parallel dazu werden auf Grundlage der entwickelten oberflächennahen bulk-Mikromechanik (SCREAM) verschiedene Anwendungen untersucht sowie derartige Strukturen mit der Elektronik monolithisch integriert. Das Zentrum für Mikrotechnologien stellt die zentrale präparative Basis für alle Teilprojekte dar.

Interdisciplinary research work of participating professorships and institutions of the collaborative research centre 379 is focused on development, design, technology, and evaluation of microelectronic, micromechanical, and microoptical components of microsystems including fabrication of demonstrators and prototyping. The subject of the collaborative research centre 379 is the well-defined part of the microsystems research: "The realization of sensor and actuator arrays consisting of a number of single components". Included is the investigation of materials for micromechanical systems, the analysis of single components regarding functionality and reliability, the technology development as well as microsystems application and signal processing. Demonstrators of the collaborative research centre are micromechanical scanning systems (actuator arrays) and ultrasonic arrays. Furthermore, various applications based on a near surface bulk micromechanics technology (SCREAM) are investigated. Research work is aimed toward the monolithic integration of micromechanical arrays and electronics. The fabrication of sensors and actuators is performed in the Center of Microtechnologies of Chemnitz University of Technology using advanced microtechniques.

Sprecher / Spokesperson:

Professor Dr.-Ing. Thomas Geßner
Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik Technische Universität Chemnitz · 09107 Chemnitz
Tel.: (0371) 531-3130 · Fax.: (0371) 531-3131
E-Mail: thomas.gessner@zfm.tu-chemnitz.de

Further Information: www.infotech.tu-chemnitz.de/~zfm/sfb379/