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Anorganische Materialien durch Gasphasensynthese / SPP 1119

Inorganic Materials through Vapor-Phase Synthesis

17.09.2003

Programmbeschreibung / Programme Summary

Die Chemische Dampfabscheidung bzw. die Chemische Dampfsynthese bieten vielseitige synthesetechnische Verfahrenskonzepte. Dem weit verbreiteten Einsatz dieser Verfahren in der industriellen Praxis steht jedoch in vielen Fällen ein Mangel an wissenschaftlichem Verständnis der zugrunde liegenden Entstehungs- bzw. Wachstumsmechanismen auf molekularem Niveau sowie des Zusammenhangs zwischen Precursorchemie und Funktionalität gegenüber. Kernaufgaben des Schwerpunkts sind die Erforschung des Zusammenspiels von Precursorchemie, Gasphasen- und Oberflächenchemie, Stoff- und Reaktionsführung im CVD/CVS-Gesamtsystem durch Kooperationen zwischen natur- und ingenieurwissenschaftlichen Disziplinen. Dabei werden insbesondere CVD/CVS-Prozesse für Metalle, Metallnitride und Metalloxide sowie III/V-Halbleitermaterialien untersucht.

Chemical vapor deposition (CVD) and chemical vapor synthesis (CVS) offer versatile technical concepts for processing of materials. In contrast to the common usage of these methods in industry, the basic knowledge of these processes is quite limited. Main focus of this priority program will be on the interplay of precursor chemistry, gasphase and surface chemistry and chemical reaction engineering of CVD/CVS systems by interdisciplinary cooperation between natural scientists and engineers. CVD/CVS processes of metals, metal nitrides and oxides as well as III/V semiconductor materials will be mainly investigated.

Sprecher / Spokesperson:

Professor Dr. Roland A. Fischer
Lehrstuhl für Anorganische Chemie II der Ruhr-Universität Bochum
Universitätsstraße 150 · 44801 Bochum
Tel.: (0234) 32-24174 · Fax.: (0234) 32-14174
E-Mail: roland.fischer@ruhr-uni-bochum.de

Further Information: www.ruhr-uni-bochum.de/cvd-spp/